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半导体电子

更新时间:2016-03-24 13:12
·半导体电子
  • 类别:应用案例
  • 时间:2016-03-24 13:12
  • 浏览:
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内容介绍
 · 恩欣格材料满足半导体电子行业的严格条件,包括:
纯度高
耐热性高,机械承载性高
良好的绝缘性
优异的耐化学性
线形热膨胀系数低
良好的耐磨性
杂质率极低

 

· 半导体电子领域分类

测试插座

晶圆盘

 清洗槽及部件

清洗槽及部件

晶圆控制棒

晶圆旋转卡盘

晶圆夹具环

化学机械抛光夹具环

切割中的表层剥离, 封装中的真空杆, 传输盘

晶圆梳, 晶圆操作工具

最终测试的连接器,插座及插座地盘

· 测试插座

§ 测试插座
TEST SOCKET
§ 材料: 
TECAPEEK CMF(PEEK) 
TECAPEEK TS(PEEK) 

§ 特性:
非常好的刚度和硬性
热稳定性优
尺寸稳定性优
吸水率低
良好的耐腐蚀性
良好的机械加工性,无毛刺
良好的韧性,可弯曲
板材表面无漩涡
黑点率极低 

· 晶圆盘




§ 晶圆盘
Wafer tray
§ 材料:
TECAPEEK (PEEK) 
§ 要求:
高机械强度 
高尺寸稳定性 
高纯净度

 
· 清洗槽及部件



 § 清洗槽及部件
 
Cleaning Tanks and Components
§ 材料:
TECAPEEK (PEEK) 
TECAFLON PVDF(PVDF) 
§ 要求:
高机械强度 
抗化学腐蚀 
高纯净度 

· 清洗槽及部件


 
 
§ 清洗槽及部件
CVD Wafer holding rings
§ 材料:
SINTIMID HP (PI) 

§ 要求: 
高耐磨性 
抗化学腐蚀
高纯净度,高温 

· 晶圆控制棒

§ 晶圆控制棒
Wafer Handling wands
§ 材料:
TECAPEEK ELS (PEEK) 

§ 要求:
耐高温 
静电分散
· 晶圆旋转卡盘

§ 晶圆旋转卡盘
Wafer Spin Chunk
§ 材料:
TECAPEEK (PEEK) 
SINTIMID HP(PI) 
§ 要求:
不易损伤晶圆表面 
高尺寸稳定性 
高耐化学性 
高耐磨性
· 晶圆夹具环
                      
§ 晶圆夹具环
Wafer Clamp Ring
§ 材料:
TECAPEEK (PEEK) 
SINTIMID HP(PI) 

                                              要求:
                                            不易损伤晶圆表面 
                                            高尺寸稳定性,高纯度 
                                             耐高温,耐化学性 
· 化学机械抛光夹具环

§ 化学机械抛光夹具环
CMP Ring
§ 材料:
TECAPEEK (PEEK) 
TECATRON (PPS) 
§ 要求:
高耐磨性 
高尺寸稳定性,高纯度 
耐化学性

· 切割中的表层剥离, 封装中的真空杆, 传输盘
 
· 返回
§ 切割中的表层剥离, 封装中的真空杆, 传输盘
Wear strips, Vacuum wands, Transfer boats
§ 材料:
TECANAT ESD7 (PC-7) 
TECAPEI ESD7 (PEI-7) 
TECAFORM AH SD(Ensital SD) 

§ 要求:
高耐磨性 
静电分散



 
· 晶圆梳, 晶圆操作工具

 

· 返回

§ 晶圆梳, 晶圆操作工具

Wafer Comb, Wafer handling tools

§ 材料:
TECANAT ESD7 (PC-7) 
TECAPEI ESD7 (PEI-7) 
TECAFORM AH SD(Ensital SD)
SINTIMID HT (PI)
PEEK CF 
§ 要求:
高耐磨性, 高纯度 
耐高温,静电分散 

 
 
§最终测试的连接器,插座及插座地盘 

§ 最终测试的连接器,插座及插座地盘
Final Test Socket Chassis, Socket and Contactors
§ 材料:
TECATRON GF (PPS GF) 
TECAPEEK GF (PEEK GF)
SINTIMID HT (PI) 
§ 要求:
高纯度,良好的尺寸稳定性 
耐高温,高电绝缘性 
 

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